有機EL研究部門

装置名

使用用途

設置場所

三室型蒸着装置

蒸着法による素子作製装置

CR1000

二室型蒸着装置

蒸着法による素子作製装置

CR1000

グローブボックス付一室型蒸着装置

蒸着法による素子作製装置

CR1000

グローブボックス付スパッタ装置

電極作製装置

510W

ガラスチャンバー型蒸着装置

蒸着法による素子作製装置

510E

ガラスチャンバー型蒸着装置

蒸着法による素子作製装置

510E

塗布成膜用グローブボックス

塗布法による素子作製の窒素雰囲気ボックス

510W

測定機器用グローブボックス

精密測定のための窒素雰囲気ボックス

510W

電子スピン共鳴装置

分析装置

103

原子間力顕微鏡

表面分析装置

103

走査型電子顕微鏡

表面形状分析用の高倍率顕微鏡

103

グローブボックス付光電子収量分光装置

窒素雰囲気ボックス付きの電子分光分析装置

103

光電子収量分光装置

電子分光分析装置

103

透過X線装置

X線による構造解析装置

103

薄膜X線装置

X線による薄膜構造解析装置

103

Time-of-Flight装置

電子またはホールの移動度測定装置

501

分光エリプソメータ?

分光分析装置

501

触針式膜厚段差計

接触させて測定する膜厚測定装置

510E

クライオスタット付蛍光寿命測定装置

低温保持機能がついている分光測定装置

501

昇華挙動分析装置

加熱時の重量減少測定装置

501

蛍光分光装置

分光分析装置

501

紫外可視吸収分光装置

分光装置

501

熱重量分析装置

加熱時の重量減少測定装置

501

示差走査熱量測定装置

熱分析装置

501

赤外分光装置

熱分析装置

501

HPLC

分子量測定装置

409

分取GPC

分子量ごとの分別装置

409

GPC

分子量測定装置

409

近赤外用分光放射輝度計

分光装置

507

質量分析装置

分子量に関する分析装置

501

自動型中圧クロマトグラフィー

分子量測定装置

509

マイクロ波合成装置

波動合成に関する装置

509

電気化学測定装置

電気関連測定装置

409

有機EL素子寿命測定装置

寿命測定に関する装置

507

輝度計

明るさの測定装置

507

高真空昇華精製装置

有機材料の純度を高める装置

410W

大型昇華精製装置

有機材料の純度を高める装置

410W

中型昇華精製装置

有機材料の純度を高める装置

410W

小型昇華精製装置

有機材料の純度を高める装置

410W

スクライバー

切断装置

104

面取り機

研磨装置

104

露光機(小型)

パターン形成のための光照射装置

CR100

真空蒸着装置 EO-6

有機デバイスの作製

410E

真空蒸着装置 VPC-1100

有機デバイスの作製

410E

真空蒸着装置 EO-5

有機デバイスの作製

410E

グローブボックス LabMaster

有機デバイスの作製および評価

410E

グローブボックス NEXUS

有機デバイスの作製および評価

410E

低温プローバー

有機デバイス性能の温度依存性

410E

可視紫外分光光度計

有機薄膜の電子状態評価

410E

デジタルマイクロスコープ

有機薄膜の構造観察

410E

接触角計

有機薄膜の濡れ性評価

410E

偏光顕微鏡

有機薄膜の構造観察

410E

昇華精製装置

有機材料の精製

410E

小型ソーラーシミュレーター

有機太陽電池性能の評価

410E

アクションスペクトル測定装置

有機太陽電池性能の評価

410E

半導体パラメーターアナライザー

有機トランジスタの性能評価

410E

ソースメジャーユニット

有機デバイスの電気物性評価

410E

周波数分析器

有機デバイスの応答速度評価

410E

高速分光エリプソメータ

薄膜の光学特性・分子配向の分析

410W

In situ光学測定蒸着機

分子配向の蒸着中リアルタイム分析

410W

分光光度計

膜および溶液の吸収測定

410W

反射率測定器

膜の反射率測定

410W

過渡発光測定系

素子からの発光寿命測定

410W

科学計算用ワークステーション

量子化学計算

407

プローブステーション

プローブを用いてデバイスの検出

510W (Glove box)

半導体特性評価システム

デバイスのI-V特性を測定

510W

交互吸着膜作製装置

交互吸着膜の自動作製

409

濃厚系粒子アナライザー

ナノ結晶(粒子)のサイズ観測

409

マイクロ波ナノ結晶作製装置

マイクロ波照射を伴うナノ結晶作製

409

一室型蒸着装置

蒸着法による素子作製装置

9号館1階

スパッタ付クラスター型蒸着装置

蒸着法による素子作製装置

9号館1階

インライン型蒸着装置

蒸着法による素子作製装置

9号館1階

マルチフォトン型素子用蒸着装置

蒸着法による素子作製装置

9号館1階

一室型蒸着装置

蒸着法による素子作製装置

9号館1階

リニアソース開発用蒸着装置

蒸着法による素子作製装置

9号館1階

封止用グローブボックス

素子の封止処理用の装置

9号館1階

量子収率測定用積分球

光関連の分析装置

9号館1階

分光放射輝度計

明るさの分布の測定装置

9号館1階

輝度計

明るさの測定装置

9号館1階

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