装置名 |
使用用途 |
設置場所 |
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三室型蒸着装置 |
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蒸着法による素子作製装置 |
CR1000 |
二室型蒸着装置 |
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蒸着法による素子作製装置 |
CR1000 |
グローブボックス付一室型蒸着装置 |
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蒸着法による素子作製装置 |
CR1000 |
グローブボックス付スパッタ装置 |
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電極作製装置 |
510W |
ガラスチャンバー型蒸着装置 |
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蒸着法による素子作製装置 |
510E |
ガラスチャンバー型蒸着装置 |
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蒸着法による素子作製装置 |
510E |
塗布成膜用グローブボックス |
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塗布法による素子作製の窒素雰囲気ボックス |
510W |
測定機器用グローブボックス |
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精密測定のための窒素雰囲気ボックス |
510W |
電子スピン共鳴装置 |
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分析装置 |
103 |
原子間力顕微鏡 |
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表面分析装置 |
103 |
走査型電子顕微鏡 |
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表面形状分析用の高倍率顕微鏡 |
103 |
グローブボックス付光電子収量分光装置 |
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窒素雰囲気ボックス付きの電子分光分析装置 |
103 |
光電子収量分光装置 |
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電子分光分析装置 |
103 |
透過X線装置 |
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Ｘ線による構造解析装置 |
103 |
薄膜X線装置 |
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Ｘ線による薄膜構造解析装置 |
103 |
Time-of-Flight装置 |
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電子またはホールの移動度測定装置 |
501 |
分光エリプソメータ? |
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分光分析装置 |
501 |
触針式膜厚段差計 |
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接触させて測定する膜厚測定装置 |
510E |
クライオスタット付蛍光寿命測定装置 |
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低温保持機能がついている分光測定装置 |
501 |
昇華挙動分析装置 |
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加熱時の重量減少測定装置 |
501 |
蛍光分光装置 |
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分光分析装置 |
501 |
紫外可視吸収分光装置 |
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分光装置 |
501 |
熱重量分析装置 |
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加熱時の重量減少測定装置 |
501 |
示差走査熱量測定装置 |
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熱分析装置 |
501 |
赤外分光装置 |
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熱分析装置 |
501 |
HPLC |
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分子量測定装置 |
409 |
分取GPC |
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分子量ごとの分別装置 |
409 |
GPC |
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分子量測定装置 |
409 |
近赤外用分光放射輝度計 |
分光装置 |
507 |
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質量分析装置 |
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分子量に関する分析装置 |
501 |
自動型中圧クロマトグラフィー |
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分子量測定装置 |
509 |
マイクロ波合成装置 |
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波動合成に関する装置 |
509 |
電気化学測定装置 |
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電気関連測定装置 |
409 |
有機EL素子寿命測定装置 |
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寿命測定に関する装置 |
507 |
輝度計 |
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明るさの測定装置 |
507 |
高真空昇華精製装置 |
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有機材料の純度を高める装置 |
410W |
大型昇華精製装置 |
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有機材料の純度を高める装置 |
410W |
中型昇華精製装置 |
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有機材料の純度を高める装置 |
410W |
小型昇華精製装置 |
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有機材料の純度を高める装置 |
410W |
スクライバー |
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切断装置 |
104 |
面取り機 |
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研磨装置 |
104 |
露光機（小型） |
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パターン形成のための光照射装置 |
CR100 |
真空蒸着装置 EO-6 |
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有機デバイスの作製 |
410E |
真空蒸着装置 VPC-1100 |
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有機デバイスの作製 |
410E |
真空蒸着装置 EO-5 |
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有機デバイスの作製 |
410E |
グローブボックス LabMaster |
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有機デバイスの作製および評価 |
410E |
グローブボックス NEXUS |
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有機デバイスの作製および評価 |
410E |
低温プローバー |
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有機デバイス性能の温度依存性 |
410E |
可視紫外分光光度計 |
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有機薄膜の電子状態評価 |
410E |
デジタルマイクロスコープ |
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有機薄膜の構造観察 |
410E |
接触角計 |
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有機薄膜の濡れ性評価 |
410E |
偏光顕微鏡 |
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有機薄膜の構造観察 |
410E |
昇華精製装置 |
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有機材料の精製 |
410E |
小型ソーラーシミュレーター |
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有機太陽電池性能の評価 |
410E |
アクションスペクトル測定装置 |
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有機太陽電池性能の評価 |
410E |
半導体パラメーターアナライザー |
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有機トランジスタの性能評価 |
410E |
ソースメジャーユニット |
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有機デバイスの電気物性評価 |
410E |
周波数分析器 |
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有機デバイスの応答速度評価 |
410E |
高速分光エリプソメータ |
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薄膜の光学特性･分子配向の分析 |
410W |
In situ光学測定蒸着機 |
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分子配向の蒸着中リアルタイム分析 |
410W |
分光光度計 |
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膜および溶液の吸収測定 |
410W |
反射率測定器 |
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膜の反射率測定 |
410W |
過渡発光測定系 |
素子からの発光寿命測定 |
410W |
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科学計算用ワークステーション |
量子化学計算 |
407 |
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プローブステーション |
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プローブを用いてデバイスの検出 |
510W (Glove box) |
半導体特性評価システム |
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デバイスのI-V特性を測定 |
510W |
交互吸着膜作製装置 |
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交互吸着膜の自動作製 |
409 |
濃厚系粒子アナライザー |
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ナノ結晶（粒子）のサイズ観測 |
409 |
マイクロ波ナノ結晶作製装置 |
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マイクロ波照射を伴うナノ結晶作製 |
409 |
一室型蒸着装置 |
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蒸着法による素子作製装置 |
9号館1階 |
スパッタ付クラスター型蒸着装置 |
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蒸着法による素子作製装置 |
9号館1階 |
インライン型蒸着装置 |
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蒸着法による素子作製装置 |
9号館1階 |
マルチフォトン型素子用蒸着装置 |
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蒸着法による素子作製装置 |
9号館1階 |
一室型蒸着装置 |
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蒸着法による素子作製装置 |
9号館1階 |
リニアソース開発用蒸着装置 |
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蒸着法による素子作製装置 |
9号館1階 |
封止用グローブボックス |
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素子の封止処理用の装置 |
9号館1階 |
量子収率測定用積分球 |
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光関連の分析装置 |
9号館1階 |
分光放射輝度計 |
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明るさの分布の測定装置 |
9号館1階 |
輝度計 |
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明るさの測定装置 |
9号館1階 |
