プリンテッドデバイス技術研究部門

装置名

使用用途

設置場所

真空蒸着装置

有機半導体、電極の成膜

310

グローブボックス

塗布型デバイスの作製

310

ディスペンサ装置

電極パターン

309

プラズマ表面処理装置

表面処理

310

パリレンコーター

有機絶縁膜の成膜

310

UVオゾンクリーナー

表面洗浄

310

有機TFT評価装置

トランジスタ特性の評価

310

レーザー顕微鏡

表面形状の観察

306

抵抗率測定器

電極の評価解析

306

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