装置名 |
使用用途 |
設置場所 |
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真空蒸着装置 |
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有機半導体、電極の成膜 |
310 |
グローブボックス |
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塗布型デバイスの作製 |
310 |
ディスペンサ装置 |
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電極パターン |
309 |
プラズマ表面処理装置 |
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表面処理 |
310 |
パリレンコーター |
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有機絶縁膜の成膜 |
310 |
ＵＶオゾンクリーナー |
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表面洗浄 |
310 |
有機TFT評価装置 |
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トランジスタ特性の評価 |
310 |
レーザー顕微鏡 |
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表面形状の観察 |
306 |
抵抗率測定器 |
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電極の評価解析 |
306 |
