低炭素ネットワークラボ

装置名

使用用途

設置場所

精密ナノ加工機

マイクロからサブナノスケールの微細パターン作製

102

露光装置

マイクロスケールの電極パターン作製

CR100

原子間力顕微鏡

ナノスケールの形状、電気特性、力学特性評価

102

レーザー顕微鏡

マイクロ・ナノ構造の表面観察

102

UV式ロールtoロールインプリント装置

光硬化樹脂の表面微細構造体を作製

102

熱式ロールtoロールインプリント装置

熱可塑性高分子フィルムへ表面微細構造体を作製

102

薄膜用X線回折装置

有機薄膜の構造解析

103

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