装置名 |
使用用途 |
設置場所 |
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精密ナノ加工機 |
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マイクロからサブナノスケールの微細パターン作製 |
102 |
露光装置 |
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マイクロスケールの電極パターン作製 |
CR100 |
原子間力顕微鏡 |
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ナノスケールの形状、電気特性、力学特性評価 |
102 |
レーザー顕微鏡 |
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マイクロ・ナノ構造の表面観察 |
102 |
ＵＶ式ロールtoロールインプリント装置 |
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光硬化樹脂の表面微細構造体を作製 |
102 |
熱式ロールtoロールインプリント装置 |
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熱可塑性高分子フィルムへ表面微細構造体を作製 |
102 |
薄膜用Ｘ線回折装置 |
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有機薄膜の構造解析 |
103 |
